Máy cắt wafer tự động – DAD3220
Máy cắt wafer cho phôi 6 × 6 inch được thiết kế nhỏ gọn
Kích thước bàn làm việc Φ150 mm
Sử dụng trục đơn
- Mô tả
- Thông tin bổ sung
Mô tả
ĐIỂM NỔI BẬT
Máy cắt wafer một trục tương thích với phôi 6 x 6 inch sử dụng thông số kỹ thuật do người dùng chỉ định.
Mỗi mô hình đều có bảng điều khiển cảm ứng LCD với giao diện người dùng đồ họa để vận hành dễ dàng và trực quan.
Trục chính 1,5 kW mới được phát triển, là tiêu chuẩn trên mọi kiểu máy, có chức năng khóa trục để thay lưỡi dễ dàng hơn
Có sẵn một trục chính giãn nở giảm (tùy chọn) được sản xuất bằng vật liệu chống giãn nở đặc biệt để có độ chính xác cao hơn nữa trong quá trình xử lý.
| Kích thước tối đa bàn làm việc | Φ6 inch / 150 × 150 mm(user-specified specification) | ||
| Trục X | Phạm vi cắt | mm | 160 |
| Tốc độ cắt | mm/s | 0.1 – 500 | |
| Trục Y | Phạm vi cắt | mm | 162 |
| Hệ số bước cắt | mm | 0.0001 | |
| Định vị chính xác | mm | 0.005/160 (Single error) 0.003/5 | |
| Trục Z | Phạm vị hành trình | mm | 32.2 (Φ2 inch blades) |
| Độ phân giải di chuyển (Bước tiến) | mm | 0.00005 | |
| Độ chính xác lặp lại | mm | 0.001 | |
| Trục θ | Góc quay tối đa | deg | 320 |
| Trục chính | Mô men xoắn định mức | kW | 1.5 |
| N.m | 0.48 | ||
| Phạm vi tốc độ xoay | min‐1 | 3,000 – 40,000 | |
| Kính hiển vi (căn chỉnh) | Hệ thống | Pattern matching system based on the target patterns from the CCD camera | |
| Phạm vi | 0.64 mm square | ||
| Phóng đại | ・7.5x (pixel size: 0.0013 mm) | ||
| Đèn chính + Đèn vòng (phụ kiện tùy chọn) | Đèn vòng cung cấp cho phôi gia công với khả năng chiếu sáng 360 độ để xử lý các điều kiện bề mặt phôi khác nhau và góc Kerf sau khi cắt. | ||
| Kerf check | ・Bù trừ trên đường cắt tiêu chuẩn ・Chiều dài min/max của rãnh Kerf ・Kiểm tra cài đặt các vị trí ngẫu nhiên ・Kiểm tra cài đặt cho từng số dòng cắt | ||
| Điều chỉnh cường độ ánh sáng tự động | |||
| Tự động lấy nét | |||
| Căn chỉnh tự động | |||
| Thay đổi loại thiết bị | Các điều kiện căn chỉnh có thể được chuyển đổi dữ liệu thiết bị tự động được thay đổi | ||
| Độ chính xác căn chỉnh | ± 0.0013 mm | ||
| Kích thước khuôn có khả năng căn chỉnh | từ 0,4 mm trở lên | ||
| DAD3220 có chiều rộng chỉ 500 mm và được thiết kế nhỏ gọn. Kích thước đặt máy được giảm khoảng. 14% so với mô hình hiện có (DAD321). | |||
| Bộ điều khiển tốc độ dòng nước cắt, có thể lập trình cho từng dữ liệu thiết bị, giúp ngăn ngừa lỗi người vận hành đồng thời cung cấp dòng nước cắt ổn định và nhất quán. | |||
| Kính hiển vi vĩ mô cho phép trường nhìn rộng hơn và có thể cải thiện khả năng sử dụng trong quá trình căn chỉnh | |||
| Một máy biến áp và UPS có thể được lắp đặt trên thiết bị có cân nhắc đến việc bố trí các thiết bị ngoại vi |
| Nguồn điện | 200 ~ 240 V AC ± 10%, 3 pha (50/60 Hz) |
| Công suất tiêu thụ: | Khi xử lý 0.5 kW (tham khảo) và Khi khởi động 0.4 kW (tham khảo) |
| Công suất tối đa | 3.5 kVA |
| Áp suất không khí | 0,5 ~ 0,8 MPa |
| Mức tiêu thụ không khí tối đa | 200 L / min (ANR) |
| Áp suất khí sạch | 0,5 ~ 0,8 MPa |
| Mức tiêu thụ khí sạch tối đa | 162 L / phút (ANR) |
| Áp suất nước cắt | 0,2 ~ 0,4 MPa |
| Tối đa tốc độ dòng chảy nước cắt: | 0.2 ~ 4.0 L / min |
| Áp suất nước làm mát | 0,2 ~ 0,4 Mpa |
| Tốc độ dòng chảy của nước làm mát | 1.5 ở 0,3 MPa L / phút |
| Công suất ống xả | 2.5 m3 / phút |
| Kích thước máy (W x D x H) | 730 x 900 x 1,670 mm |
| Trọng lượng máy | Khoảng 600 kg |
| – Sử dụng trong quá trình sản xuất linh kiện bán dẫn và điện tử |
| – Được áp dụng trong việc cắt các tấm wafer silicon và các loại vật liệu khác |
| Tùy chọn thông số | Thông số (kích thước) | Số lượng | |
| Bộ cầu chì (Thủy tinh) | 3.15A 250V | 1 | |
| bộ nhớ USB | With machine data 2GB | 1 | |
| Đèn LED | Maximum rated current: 27mA | 1 | |
| Bóng đèn halogen | 7.5V 50W | 1 | |
| Bàn mâm cặp đa năng | 6-inch | 1 | |
| Tua vít lực | 400cN･m | 1 | |
| Bit | 1 | ||
| Cổ ống | 32 75 | 2 2 | |
| Ống dẫn | 32.0 I.D. 2 m 76.4 I.D. 2 m | 1 1 | |
| Đai ống | 32-35 77-85 | 2 2 | |
| Chổi quét sợi carbon | For 1.5kW spindle | 2 | |
| Pin định vị | For chuck table | 1 | |
| Trục cố định kim loại | For X-axis For Y-axis For Z-axis | 1 set | |
| Vỏ bảo vệ bánh mài | For 1.5kW spindle Centrifugal type (resin) | 1 | |
| Lựa chọn đặc điểm kỹ thuật mặt bích | Hub specifications | Đồ gá tháo lắp lưỡi trục | 1 |
| Bộ giá đỡ bánh xe cho trục | 1 | ||
| Bộ đồ gá thay đồ mặt bích | 1 | ||
| Gắn chip thay đồ mặt bích | 1 bộ | ||
| Bộ đồ gá chiết lắp Lưỡi cắt | 1 | ||
| R-type flange specifications | 48.2 × 40.0 | 1 | |
| 49.4 × 40.0 | 1 | ||
| 50.6 × 40.0 | 1 | ||
| 52.0 × 40.0 | 1 | ||
| 54.0 × 40.0 | 1 | ||
| Một bộ đồ gá chiết mặt bích ・ Bộ đồ gá thay đồ mặt bích ・ Chip thay mặt bích ・ Bộ đồ gá tháo lắp mặt bích B ・ Bảng tủ trưng bày không được bao gồm trong lô hàng. Bàn tủ trưng bày khác nhau tùy thuộc vào loại lưỡi cắt được sử dụng. Nếu bạn cần tủ trưng bày, hãy tham khảo ý kiến đại diện bán hàng DISCO của bạn. | |||
| Lựa chọn manual đính kèm | Japanese manuals | Safety Manual Installation Manual Operation Manual Data Maintenance Manual Maintenance Manual Technical Reference | 1 |
| English manuals | 1 | ||
| “Lựa chọn nhãn: ngôn ngữ được sử dụng cho các nhãn trên máy bìa ngoài” | Japanese English German French Italian Chinese (Simplified) Chinese (Traditional) Portuguese Korean | ・Rotating blade ・Moving parts ・Hot surface ・Hazardous voltage ・Line voltage always present | 1 |
| Màn hình điều khiển vận hành | Cho biết tên thư mục của dữ liệu thiết bị hiện được chọn. |
| Cho biết Số dữ liệu thiết bị hiện được chọn. | |
| Cho biết phiên bản phần mềm được cài đặt trong máy. | |
| Cho biết số quản lý máy cho DISCO. | |
| Cho biết ID máy được chỉ định trên màn hình DỮ LIỆU NGƯỜI DÙNG 1 | |
| Bảng cảm ứng | Màn hình LCD màu 15” loại được sử dụng để hiển thị hoạt động căn chỉnh, dữ liệu cắt, thông báo lỗi và các thông tin liên quan khác. Cũng có thể vận hành máy bằng cách chạm trực tiếp vào màn hình LCD. |
| Màn hình hoạt động | Hoạt động dễ dàng được thực hiện bằng cách sử dụng GUI (Giao diện người dùng đồ họa). |
| “Ngôn ngữ hướng dẫn được hiển thị” | Có thể được chọn từ tiếng Nhật, tiếng Anh, tiếng Trung (Giản thể) hoặc Trung Quốc (Phồn thể). |
Thông tin bổ sung
| Hãng sản xuất | Disco |
|---|---|
| Xuất xứ | USA |
| Loại | Tự động |
