Máy cắt wafer tự động – DAD324
Máy cắt wafer Φ6-inch có thiết kế nhỏ gọn nhất đồng thởi chức năng được cải thiện
Kích thước workpiece: Φ150 mm
Sử dụng trục đơn
- Mô tả
- Thông tin bổ sung
Mô tả
ĐIỂM NỔI BẬT
Hỗ trợ nhiều ứng dụng từ tấm bán dẫn đến các bộ phận điện tử
DAD324 là máy cắt wafer một trục tương thích với phôi có kích thước lên đến Φ6 inch với trục chính mô-men xoắn cao 2.0 kW. Các phôi 150 x 150 mm có thể được xử lý bằng cách sử dụng thông số kỹ thuật do người dùng chỉ định
Thiết kế siêu nhỏ gọn *
Thiết kế nhỏ gọn với chiều rộng 490 mm
DAD324 giảm thiểu kích thước góp phần làm tăng năng suất lớn về mặt năng suất trên một đơn vị diện tích, đặc biệt là khi nhiều sử dụng nhiều máy liên tiếp
Năng suất cao
Tốc độ hoạt động của phần mềm và tốc độ phản hồi được cải thiện thông qua việc áp dụng MCU hiệu suất cao. Tốc độ trục được tăng tốc và thông lượng được cải thiện bằng cách sử dụng động cơ servo cho tất cả các trục. Ngoài ra, mô hình này sử dụng các thành phần điện PC làm tiêu chuẩn và hỗ trợ điều khiển giao tiếp như một tùy chọn. NCS (Thiết lập không tiếp xúc) tốc độ cao giúp giảm thời gian đo.
| Kích thước tối đa bàn làm việc | Φ6 inch / 150 mm × 150 mm (user-specified specification) | ||
| Trục X | Phạm vi cắt | mm | 160 |
| Tốc độ cắt | mm/s | 0.1 ～ 800 | |
| Trục Y | Phạm vi cắt | mm | 162 |
| Hệ số bước cắt | mm | 0.0001 | |
| Định vị chính xác | mm | 0.005/160 (Single error)0.003/5 | |
| Trục Z | Phạm vị hành trình | mm | 32.2 (Φ2 inch blades) |
| Độ phân giải di chuyển (Bước tiến) | mm | 0.000002(2nm) | |
| Độ chính xác lặp lại | mm | 0.001 | |
| Trục θ | Góc quay tối đa | deg | 320 |
| Trục chính | Mô men xoắn định mức | kW | 2.0 at 40,000 min-1 |
| N.m | 0.48 | ||
| Phạm vi tốc độ xoay | min‐1 | 3,000 – 40,000 | |
| Kính hiển vi (căn chỉnh) | Hệ thống | Pattern matching system based on the target patterns from the CCD camera | |
| Phạm vi | 0.64 mm square | ||
| Phóng đại | ・7.5x (pixel size: 0.0013 mm) | ||
| Đèn chính + Đèn vòng (phụ kiện tùy chọn) | Đèn vòng cung cấp cho phôi gia công với khả năng chiếu sáng 360 độ để xử lý các điều kiện bề mặt phôi khác nhau và góc Kerf sau khi cắt. | ||
| Kerf check | ・Bù trừ trên đường cắt tiêu chuẩn ・Chiều dài min/max của rãnh Kerf ・Kiểm tra cài đặt các vị trí ngẫu nhiên ・Kiểm tra cài đặt cho từng số dòng cắt | ||
| Điều chỉnh cường độ ánh sáng tự động | |||
| Tự động lấy nét | |||
| Căn chỉnh tự động | |||
| Thay đổi loại thiết bị | Các điều kiện căn chỉnh có thể được chuyển đổi dữ liệu thiết bị tự động được thay đổi | ||
| Độ chính xác căn chỉnh | ± 0.0013 mm | ||
| Kích thước khuôn có khả năng căn chỉnh | từ 0,4 mm trở lên | ||
XIS (Hệ thống Giao diện Mở rộng): Các nút hoạt động được hợp nhất trên màn hình kính hiển vi.
Lập bản đồ Wafer: Trạng thái xử lý được hiển thị trực quan giống như thiết bị hoàn toàn tự động.
Trình xem nhật ký: Dữ liệu tương tự được hiển thị dưới dạng biểu đồ và dữ liệu thiết bị được hiển thị dễ dàng hơn.
Trình xem trợ giúp: Khắc phục sự cố được hiển thị khi xảy ra lỗi để hỗ trợ khôi phục nhanh chóng và chính xác.
| Nguồn điện | 200 ~ 240 V AC ± 10%, 3 pha (50/60 Hz) |
| Công suất tiêu thụ: | Khi xử lý 0.6 kW (tham khảo) và Khi khởi động 0.5 kW (tham khảo) |
| Công suất tối đa | 3.5 kVA |
| Áp suất không khí | 0,5 ~ 0,6 MPa |
| Mức tiêu thụ không khí tối đa | 378,0 L / phút (ANR) |
| Áp suất khí sạch | 0,5 ~ 0,8 MPa |
| Mức tiêu thụ khí sạch tối đa | 162 L / phút (ANR) |
| Áp suất nước cắt | 0,2 ~ 0,4 MPa |
| Tối đa tốc độ dòng chảy nước cắt: | 4 L / phút |
| Áp suất nước làm mát | 0,2 ~ 0,4 Mpa |
| Tốc độ dòng chảy của nước làm mát | 3.0 ở 0,3 MPa L / phút |
| Công suất ống xả | 5,0 m3 / phút |
| Kích thước máy (W x D x H) | 490 × 870 × 1,670 mm |
| Trọng lượng máy | Khoảng 420 kg |
| – Sử dụng trong quá trình sản xuất linh kiện bán dẫn và điện tử |
| – Được áp dụng trong việc cắt các tấm wafer silicon và các loại vật liệu khác |
| USB flash drive | ||
| Cổ ống | 32 50 | |
| Ống dẫn | I.D. 32.0 2 m I.D. 50.6 2 m | |
| Đai ống | 35-38 53-60 | |
| Pin định vị | Đối với bàn mâm cặp | |
| Bảo vệ bánh mài | Ly tâm cho trục chính 2.0kW (loại nhựa) | |
| Lựa chọn đặc điểm kỹ thuật mặt bích | Hub specifications | Wheel mount set for hub |
| R-type flange specifications | 48.2 × 40.0 | |
| 49.4 × 40.0 | ||
| 50.6 × 40.0 | ||
| 52.0 × 40.0 | ||
| 54.0 × 40.0 | ||
| Lựa chọn manual đính kèm | Japanese manuals | Safety Manual Installation Manual Operation Manual Data Maintenance Manual Maintenance Manual Technical Reference |
| English manuals | ||
| “Lựa chọn nhãn: ngôn ngữ được sử dụng cho các nhãn trên máy bìa ngoài” | Japanese English German French Italian Chinese (Simplified) Chinese (Traditional) Portuguese Korean | ・Rotating blade ・Moving parts ・Hot surface ・Hazardous voltage ・Line voltage always present |
| 1.8kW spindle specification | ||
| Tape frame | ||
| Cassette | ||
| Starter kit for 2-inch hub mount | ||
| Starter kit for R-type flange | ||
| Spare 2-inch hub mount (for 2.0kW/1.8kW spindle) | ||
| 2-inch hub mount jig (spare) | ||
| Chuck table | ||
| Maintenance parts kit | ||
| General | ||
| Advanced | ||
| Lifting jig set | ||
| Axis metal fixture (spare) | ||
| Machine anchoring bracket | ||
| Braided hose | ||
| Braided hose joint | ||
| Pipe band | ||
| Non-contact setup | ||
| Abrasive material for non-contact setup sensor | ||
| Blade breakage detector | ||
| Wheel cover | ||
| Power cables | ||
| Transformer unit for use outside Japan (internal type) | ||
| Uninterruptible power supply | ||
| Booster pump unit | ||
| Water leakage sensor | ||
| Duct fan unit (internal type) | ||
| Water temperature control unit | ||
| Magnification of microscope (micro) | ||
| Macro microscope | ||
| Direct light specification | ||
| Ring light specification | ||
| Wheel coolant water (shower) flow switch | ||
| Wheel coolant water (blade cooler) flow switch | ||
| Flow rate controller for the wheel coolant water | ||
| Spare USB flash drive | ||
| Stylus pen | ||
| Spare manuals | ||
| Kerf center alignment | ||
| Slow-in cutting function | ||
| Measure alignment package | ||
| CE-marking specification | ||
| CC Filter unit | ||
| High pressure air blower | ||
| Linear scale (Y-axis) | ||
| Duct capacity measuring instrument | ||
| Anti-soiling porous chuck table |
| Màn hình điều khiển vận hành | Cho biết tên thư mục của dữ liệu thiết bị hiện được chọn. |
| Cho biết Số dữ liệu thiết bị hiện được chọn. | |
| Cho biết phiên bản phần mềm được cài đặt trong máy. | |
| Cho biết số quản lý máy cho DISCO. | |
| Cho biết ID máy được chỉ định trên màn hình DỮ LIỆU NGƯỜI DÙNG 1 | |
| Bảng cảm ứng | Màn hình LCD màu 15” loại được sử dụng để hiển thị hoạt động căn chỉnh, dữ liệu cắt, thông báo lỗi và các thông tin liên quan khác. Cũng có thể vận hành máy bằng cách chạm trực tiếp vào màn hình LCD. |
| Màn hình hoạt động | Hoạt động dễ dàng được thực hiện bằng cách sử dụng GUI (Giao diện người dùng đồ họa). |
| “Ngôn ngữ hướng dẫn được hiển thị” | Có thể được chọn từ tiếng Nhật, tiếng Anh, tiếng Trung (Giản thể) hoặc Trung Quốc (Phồn thể). |
Thông tin bổ sung
| Hãng sản xuất | Disco |
|---|---|
| Xuất xứ | USA |
| Loại | Tự động |
