Thiết bị quay phủ Spin Coating

GIẢI PHÁP CHO CHU TRÌNH QUAY PHỦ VÀ DEVELOP
Nền tảng LabSpin của SUSS MicroTec đại diện cho thế hệ thử nghiệm của các hệ thống quay phủ/develop thủ công được phát triển đặc biệt cho phòng thí nghiệm và R&D.Được thiết kế cho nhiều loại hóa chất photolithographical, LabSpin cung cấp kết quả lớp phủ đồng nhất, chính xác và có thể lặp lại nhờ quy trình tiên tiến buồng

Mô tả

ĐIỂM NỔI BẬT

Bát có thể tháo rời giúp thay đổi nhanh chóng giữa các quá trình khác nhau, tránh làm bẩn chéo

Động cơ trục rỗng ghép trực tiếp với bộ phận tách lỏng trong suốt trên đường chân không

Bình xả ở bảng điều khiển phía trước để dễ dàng tiếp cận và theo dõi mức chất thải

Vị trí phân phối có thể điều chỉnh

Loại bỏ biên hạt

Puddle development hỗ trợ bởi dao động mâm cặp để giảm thời gian thực hiện

CẤU HÌNH CÔNG CỤLabSpin6Lên tới 150mm cho mẫu tròn hoặc 4″ cho mẫu vuông
LabSpin8Lên tới 200mm cho mẫu tròn, 6″ cho mẫu vuông
VERSIONSHệ thống tiêu chuẩnĐể bàn (TT)
Tích hợp Wet-benchTích hợp Wet-bench (BM)
ĐIỀU KHIỂNGiao diện
(GUI)
Bảng điều khiển cảm ứng với màn hình màu
Max. Chương trình200
Max. Số bước40
Thời gian 1 – 999 s
Đông cơĐộng cơ EC không chổi than với trục rỗng và bộ
tách chất lỏng
Max. Tốc độ quay 8 000 rpm +/- 1 rpm (with 200 mm chuck)
Max. Gia tốc 4 000 rpm/s
AN TOÀNĐồng hồ chân không điện tử
Điều khiển chân không tự động
Điều khiển nắp kín
YÊU CẦUNguồn điện4.6 A / 2.5 A (115 V / 230 V)
Khí nén5 – 6 bar
Chân khôngmin. -0.7bar (optional)
Nitrogen5 – 6 bar (optional)
KÍCH THƯỚC*LabSpin6/8 BM (W x D x H) 350 x 340 x 415 mm
Controller (W x D x H) 160 x 120 x 67 mm
LabSpin6/8 TT (W x D x H) 350 x 455 x 420 mm
Nguồn điện4.6 A / 2.5 A (115 V / 230 V)
Khí nén5 – 6 bar
Chân khôngmin. -0.7bar (optional)
Nitrogen5 – 6 bar (optional)
LabSpin6/8 BM (W x D x H) 350 x 340 x 415 mm
Controller (W x D x H) 160 x 120 x 67 mm
LabSpin6/8 TT (W x D x H) 350 x 455 x 420 mm

Ứng dụng trong lĩnh vực bán dẫn, MEMS, NEMS và Nano
GIẢI PHÁP CHO CHU TRÌNH QUAY PHỦ VÀ DEVELOP

Điều khiển & Phần mềmBảng điều khiển cảm ứng với màn hình màu

Video

Thông tin bổ sung

Hãng sản xuất

Suss

Xuất xứ

Đức

Loại

Thủ công