Thiết bị quay phủ Spin Coating
GIẢI PHÁP CHO CHU TRÌNH QUAY PHỦ VÀ DEVELOP
Nền tảng LabSpin của SUSS MicroTec đại diện cho thế hệ thử nghiệm của các hệ thống quay phủ/develop thủ công được phát triển đặc biệt cho phòng thí nghiệm và R&D.Được thiết kế cho nhiều loại hóa chất photolithographical, LabSpin cung cấp kết quả lớp phủ đồng nhất, chính xác và có thể lặp lại nhờ quy trình tiên tiến buồng
- Mô tả
- Thông tin bổ sung
Mô tả
ĐIỂM NỔI BẬT
Bát có thể tháo rời giúp thay đổi nhanh chóng giữa các quá trình khác nhau, tránh làm bẩn chéo
Động cơ trục rỗng ghép trực tiếp với bộ phận tách lỏng trong suốt trên đường chân không
Bình xả ở bảng điều khiển phía trước để dễ dàng tiếp cận và theo dõi mức chất thải
Vị trí phân phối có thể điều chỉnh
Loại bỏ biên hạt
Puddle development hỗ trợ bởi dao động mâm cặp để giảm thời gian thực hiện
| CẤU HÌNH CÔNG CỤ | LabSpin6 | Lên tới 150mm cho mẫu tròn hoặc 4″ cho mẫu vuông |
| LabSpin8 | Lên tới 200mm cho mẫu tròn, 6″ cho mẫu vuông | |
| VERSIONS | Hệ thống tiêu chuẩn | Để bàn (TT) |
| Tích hợp Wet-bench | Tích hợp Wet-bench (BM) | |
| ĐIỀU KHIỂN | Giao diện (GUI) | Bảng điều khiển cảm ứng với màn hình màu |
| Max. Chương trình | 200 | |
| Max. Số bước | 40 | |
| Thời gian | 1 – 999 s | |
| Đông cơ | Động cơ EC không chổi than với trục rỗng và bộ tách chất lỏng | |
| Max. Tốc độ quay | 8 000 rpm +/- 1 rpm (with 200 mm chuck) | |
| Max. Gia tốc | 4 000 rpm/s | |
| AN TOÀN | Đồng hồ chân không điện tử | Có |
| Điều khiển chân không tự động | Có | |
| Điều khiển nắp kín | Có | |
| YÊU CẦU | Nguồn điện | 4.6 A / 2.5 A (115 V / 230 V) |
| Khí nén | 5 – 6 bar | |
| Chân không | min. -0.7bar (optional) | |
| Nitrogen | 5 – 6 bar (optional) | |
| KÍCH THƯỚC* | LabSpin6/8 BM (W x D x H) | 350 x 340 x 415 mm |
| Controller (W x D x H) | 160 x 120 x 67 mm | |
| LabSpin6/8 TT (W x D x H) | 350 x 455 x 420 mm |
| Nguồn điện | 4.6 A / 2.5 A (115 V / 230 V) |
| Khí nén | 5 – 6 bar |
| Chân không | min. -0.7bar (optional) |
| Nitrogen | 5 – 6 bar (optional) |
| LabSpin6/8 BM (W x D x H) | 350 x 340 x 415 mm |
| Controller (W x D x H) | 160 x 120 x 67 mm |
| LabSpin6/8 TT (W x D x H) | 350 x 455 x 420 mm |
Ứng dụng trong lĩnh vực bán dẫn, MEMS, NEMS và Nano
GIẢI PHÁP CHO CHU TRÌNH QUAY PHỦ VÀ DEVELOP
| Điều khiển & Phần mềm | Bảng điều khiển cảm ứng với màn hình màu |
Thông tin bổ sung
| Hãng sản xuất | Suss |
|---|---|
| Xuất xứ | Đức |
| Loại | Thủ công |